Esafluoro-1,3-butadiene

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Esafluoro-1,3-butadiene
Nome IUPAC
Esafluoro-1,3-butadiene
Nomi alternativi
Sifren46, perfluorobutadiene
Caratteristiche generali
Formula bruta o molecolare CF2=CF-CF=CF2
Massa molecolare (u) 162,03
Aspetto gas compresso liquefatto
Numero CAS 685-63-2
Numero EINECS 211-681-0
PubChem 69636
SMILES C(=C(F)F)(C(=C(F)F)F)F
Proprietà chimico-fisiche
Temperatura di fusione -130 °C
Temperatura di ebollizione 5.5 °C
Indicazioni di sicurezza

L'esafluoro-1,3-butadiene è un alogenuro appartenente alla classe degli alcheni. A temperatura ambiente si presenta come un gas tossico inodore, incolore e infiammabile. Viene usato come agente chimico nel plasma etching di circuiti integrati. I principali paesi produttori di questo composto sono l'Italia e il Giappone.[1]

Usi[modifica | modifica wikitesto]

L'esafluoro-1,3-butadiene viene principalmente usato come gas di etching per la realizzazione di semiconduttori. L'uso di questo gas consente di realizzare features di 90nm con un aspect-ratio circa quattro volte e mezza più alto rispetto all'uso di tetrafluoruro di carbonio. L'esafluoro-1,3-butadiene non contiene cloro quindi non ha alcun ozone depleting potential e ha un basso global warming potential a causa dell'elevata velocità di degradazione nell'atmosfera.

Produzione[modifica | modifica wikitesto]

Di recente molte compagnie hanno sviluppato tecnologie per produrre l'esafluoro-1,3-butadiene (Asahi Glass, Daikin, NITs MEdkhim, PCBU Services) tuttavia il mercato è dominato solo da due gruppi industriali, l'italiana Ausimont e la giapponese Kanto electrification.[2]

Può essere prodotto secondo diversi metodi chimici:[3]

Note[modifica | modifica wikitesto]

  1. ^ Jing Zhu, Shuang Chen, Bahoe Wang, Xiaorong Zhang; International Journal of Organic Chemistry, 2014, 4,331-338
  2. ^ Jing Zhu, Shuang Chen, Bahoe Wang, Xiaorong Zhang; International Journal of Organic Chemistry, 2014, 4,331-338
  3. ^ Jing Zhu, Shuang Chen, Bahoe Wang, Xiaorong Zhang; International Journal of Organic Chemistry, 2014, 4,331-338
  4. ^ US853687
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