Catodo W riscaldato (o LaB6): funzione di lavoro( minima energia necessaria per staccare l'elettrone dalla superficie...) ; condizioni di saturazione (per avere corrente stabile);
Field Emission Gun (FEG) sorgente: 3 tipi di emissione :
Campo freddo : il voltaggio tra il primo anodo e il catodo stabilisce il campo elettrico, quello fra il secondo anodo e il catodo accellera gli elettroni (piccolo raggio e alta densità di corrente)
Discorso urto elastico (BSE) o inelastico e profondità del volume coinvolto (elettroni secondari, elettroni retrodiffusi e infine raggi X) Un basso num. atomico (Z) ha una penetrazione di volume maggiore (in BSE e raggi X) . Il coefficiente di elettroni secondari δ è dato dal rapporto fra numero di elettroni secondari e il numero di elettroni del raggio incidente ; il coefficiente di back-scattering η è dato da un rapporto simile. BSE ha una risoluzione ottimale quando i numeri atomici dei 2 (o +) elementi coinvolti sono molto differenti.
