Nanolitografia: differenze tra le versioni
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Versione delle 13:12, 27 mar 2010
Con il termine nanolitografia ci si riferisce alla fabbricazione di strutture su scala nanometrica, vale a dire a modelli con almeno una dimensione laterale compresa tra la grandezza di un singolo atomo e quella di circa 100 nm. La nanolitografia viene utilizzata nella fabbricazione della nanocircuiteria d'avanguardia di circuiti integrati semiconduttori o di sistemi nanoelettromeccanici (NEMS).
La nanolitografia è quel ramo della nanotecnologia che si occupa dello studio e applicazione della fabbricazione di strutture su scala nanometrica come i circuiti semiconduttori.
Dal 2007 la nanolitografia è un settore di ricerca molto attivo nelle università e nell'industria.
Litografia ottica
Altre tecniche di nanolitografia
Metodi bottom-up
Note
Voci correlate
- litografia a nanostampa
- Stampa a contatto
- Nanopatterning
- Fotolitografia
- Litografia soft
- Magnetolitografia
- LIGA
Collegamenti esterni
- (EN) George J. Kostas Nanoscale Technology and Manufacturing Research Center
- (EN) Commercialization of Nano Imprint Lithography (NIL)
- (EN) Nanolithography at Georgia Tech
- (EN) UCLA Nanoelectronics Research Facility
- (EN) Louisiana State University, Nanografted Rings
- (EN) Univ. of Cambridge and Imperial College of London, LithoEdit DNA