Resistività di superficie

Da Wikipedia, l'enciclopedia libera.

La resistività di superficie, o resistività superficiale, è una grandezza che caratterizza le proprietà di conduzione elettrica, in particolare per campioni bidimensionali o quasibidimensionali, che hanno cioè lo spessore H molto minore della larghezza W e della lunghezza L. Esempi di questi sistemi sono i wafer di semiconduttori, e in generale i film sottili.

Questa grandezza è data da

R_s = R  \frac{W}{L} = \frac{\rho}{H}

dove \rho è la resistività. Nell'ultimo passaggio è stata usata la seconda legge di Ohm

R =\rho \frac{L}{HW}.

L'unità di misura della resistività superficiale, nel Sistema Internazionale, è l'ohm (Ω).

La resistività superficiale si misura direttamente con la misura a quattro terminali o il metodo di van der Pauw.